Материалы для микроэлектроники

Компания "Химмед" является дилером мировых лидеров в области производства материалов для микроэлектроники: Entegris, Brewer science, BASF, Henkel и др.
Если в нашем каталоге Вы не найдете нужных материалов для микроэлектроники - сделайте заказ с сайта или обратитесь к нашим менеджерам по тел
+7 (499) 123-96-86
.
Мы всегда готовы к взаимовыгодному сотрудничеству и рады видеть Вас среди наших клиентов и партнеров.
Производители для раздела "Материалы для микроэлектроники"
Наименование
Кат №
Цена. руб
Фильтры FLUOROGARD®
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Фильтры на основе PTFE мембраны. Предназначены для эффективного удаления частиц из широкого диапазона кислот, щелочей, растворителей и других химикатов.

Фильтры GUARDIAN™
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Разработаны как экономически целесообразное решение для различных химикатов, таких как растворы с высоким pH, технологий нанесения меди и никеля.

Фильтры IMPACT®
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Предназначены для фильтрации в точке использования (point-of-use (POU)) во всех фотохимических процессах нанесения фоторезистов, BARC, TARC и Spin-On Dielectric материалов.

Картриджные INTERCEPT® и одноразовые капсульные фильтры
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Фильтрация на основе двойного механизма удаления частиц для наиболее критических процессов травления и отмывки (DHF/BOE).

Фильтры MICROGARD™
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Предназначены для высокоэффективной фильтрации химикатов и материалов в фотохимических процессах.

Фильтры OPTIMIZER®
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Предназначены для контроля частиц в растворителях и деионизованной воде, используемых в фотолитографии.

Фильтры PLANARGARD® и PLANARCAP®
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Применяются во всех CMP процессах (медь, STI, ILD, вольфрам) для удаления агломератов частиц и гелей из полирующих суспензий на основе кремния, церия и алюминия.

Фильтры PROCESSGARD®
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Используются для предфильтрации деионизованной воды и процессных химикатов.

Фильтры QUICKCHANGE®
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Предназначены для фильтрации на высоких технологических уровнях как водных, так и неводных химикатов. Полностью фторопластовый фильтр на основе гидрофилизированной, не теряющей смачиваемости мембраны.

Фильтры RINSEGARD® И PROTEGO®
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Семейство фильтров используется для высокоэффективной фильтрации воды с одновременным удалением позитивно заряженных ионов до суб-ppt уровня.

Фильтры TORRENTO™
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Используются для фильтрации травителей и в технологиях отмывки, требующих высокого уровня потоков с максимальной эффективностью очистки.

Фильтры SOLARIS®
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Применяются во всех CMP процессах (медь, STI, ILD, вольфрам) для удаления агломератов частиц и гелей из полирующих суспензий на основе кремния, церия и алюминия непосредственно в оборудовании в точке использования.

Фильтр Savana AT
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Savana AT так же, как и Fluorogard AT, является полностью фторопластовым картриджным фильтром с высокой химической совместимостью со всеми агрессивными средами, в том числе при высоких температурах.

Доступен для заказа как в гидрофобной форме (в сухом состоянии), так и в гидрофильной форме (предварительно смоченный). В то время как Fluorogard AT специально разрабатывался для применения в процессах, чувствительных к примесям металлов, и специально тестируется на уровень экстрагируемости металлов, Savana AT специально не тестируется на выделение металлов, но, тем не менее, конструкционные материалы фильтра сами обеспечивают высочайший уровень чистоты фильтрации.

Savana AT является наилучшим продуктом с точки зрения экономически эффективных решений в процессах с высокоагрессивными средами при высоких температурах.

Savana AT в сравнении с Fluorogard AT

Фильтр

Fluorogard AT

Savana AT

Материал мембраны

ПТФЭ

ПТФЭ

Материал подложки мембраны и
конструкционных элементов

ПФА

ПФА

Плошадь фильтрации

0,9 м2

0,8 м2

Поток

Зависит от рейтинга мембраны

Такой же или лучше

Эффективность фильтрации

99,99% для данного рейтинга
мембраны

Такая же или лучше

Максимальная рабочая
температура

180 OС

120 OС

Фон микрочастиц (типичный)

<2 частиц/мл размером >0,2 мкм

<2 частиц/мл размером >0,2 мкм

Фон примесей металлов
(типичный)

6,8 мкг/10”

51–83 мкг/10”

Время хранения предварительно
смоченного фильтра

12 месяцев

6 месяцев

Доступные рейтинги фильтрации

0.03 мкм – 10 мкм

0.03 мкм – 10 мкм

Фильтр Savana PS
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Асимметричная структура полисульфоновой мембраны обеспечивает большой срок службы, высокие потоки и эффективность фильтрации. Гидрофильная полисульфоновая мембрана также исключает необходимость предварительного смачивания фильтра, что существенно сокращает время, необходимое на замену фильтров, и делает простои технологического оборудования минимальными.

Фильтр

Savana PP

Материал мембраны

Полипропилен

Материал подлож-
ки мембраны и
конструкционных
элементов

Полипропилен

Площадь фильтрации

0.5 м2

Доступные
соединения

Код 0 (2-222)
Код F ( c 2-ными открытыми
концами)
Код 6 (2-222-увеличенный
картридж)
Код 5 (2-222 с фиксатором)
Код 7 (2-226 с фиксатором)
Код 8 (2-226)

Рейтинг фильтрации

40, 30, 10, 4.5, 3, 2, 1, 0.45,
0.2 мкм

Поток

Самый высокий

Эффективность
фильтрации

80-95% (определяется рей-
тингом фильтрации)

Макс. рабочая
температура

80 О С

Фильтр Savana PP
Под заказ

Наименование англ:

Производитель: Entegris

Широкая химическая и температурная совместимость, большой выбор по рейтингам фильтрации. Улучшенный дизайн гофрирования мембраны и конструкции фильтра обеспечивают высокий поток с сохранением малого падения давления.

Фильтр

Savana PP

Материал мембраны

Полипропилен

Материал подлож-
ки мембраны и
конструкционных
элементов

Полипропилен

Площадь фильтрации

0.5 м2

Доступные
соединения

Код 0 (2-222)
Код F ( c 2-ными открытыми
концами)
Код 6 (2-222-увеличенный
картридж)
Код 5 (2-222 с фиксатором)
Код 7 (2-226 с фиксатором)
Код 8 (2-226)

Рейтинг фильтрации

40, 30, 10, 4.5, 3, 2, 1, 0.45,
0.2 мкм

Поток

Самый высокий

Эффективность
фильтрации

80-95% (определяется рей-
тингом фильтрации)

Макс. рабочая
температура

80 О С

При хорошей эффективности фильтрации Savana PP также обеспечивает самый высокий поток и более низкую стоимость.

Скачать каталог Chimmed 2018

Электронную версию каталога можно скачать по разделам в формате PDF
Сервис отображения товаров на складе работает в тестовом режиме. Не все товары, находящиеся на складе, отображаются. Просим вас уточнять наличие продукции на складе Химмед у наших специалистов.

Информация о ценах на товары на нашем сайте носит справочно-информационный характер и не является публичной офертой.
. .